国际标准化组织对真空泵油的分类(iso6743/3a—1987)表3-2 常用真空泵的汉语拼音代号及名称。
代号名称代号名称
w 往复真空泵z 油扩散喷射泵（油增压泵）d 定片真空泵s 升华泵
x 旋片真空泵lf 复合式离子泵
h 滑阀真空泵gl 锆铝吸气剂泵
zj 罗茨真空泵（机械增压泵）dz 制冷机低温泵yz 余摆线真空泵dg 灌注式低温泵
l 溅射离子泵if 分子筛吸附泵
xd 单级多旋片式真空泵sz 水环泵
f 分子泵ps 水喷射泵
k 油扩散真空泵p 水蒸气喷射泵、
某些真空泵系列对其抽气速率则以几何级数来分档。其单位是“l/s”。共分18个等级，分别为0.
2，0.5，1，2，4，8，15，30，70，150，300，600，1200，2500，5000，10000，20000，40000。真空泵系列有时也可用泵的入口尺寸来表示，其单位是“mm”。
真空泵的用途及使用的工业类型
6 油扩散泵 适用于真空镀膜 真空热处理 真空冶炼 真空提纯 真空分析仪器 真空检漏仪 生产电真空器件 宇宙空间模拟 加速器真空系统等工艺中使用。它适合于抽取高真空，本身不能直排大气，必须配备前级泵使用。7 干式真空泵 罗杆泵 涡旋泵 爪形泵 适用于无油清洁的真空工艺过程，例如半导体行业 电子行业 ...