6、油扩散泵：适用于真空镀膜、真空热处理、真空冶炼、真空提纯、真空分析仪器、真空检漏仪、生产电真空器件、宇宙空间模拟、加速器真空系统等工艺中使用。它适合于抽取高真空，本身不能直排大气，必须配备前级泵使用。
7、干式真空泵(罗杆泵、涡旋泵、爪形泵)：适用于无油清洁的真空工艺过程，例如半导体行业、电子行业、化工行业等各种工艺中，这几种泵都能直排大气。
8、吸附泵：适合于各种真空电子器件、集成电路、分析仪器、表面仪器、以及各种要求清洁无油的真空系统中使用。
9、钛泵(溅射离子泵、升华泵)：适用于真空镀膜、电真空器件、大规模集成电路、表面物理、表面化学、热核物理、等离子体物理、超导技术等工作中。
10、分子泵：适用于真空镀膜、集成电路、表面物理、表面化学、等离子体物理、光学仪器、热核反应、宇航技术等工作中。
11、水喷射泵：适合于真空倒料、真空输送、化工、化纤、制药、油漆、油脂、造纸、烧碱、制糖、食品、制砖、真空除氧等工业领域。
12、水蒸气喷射泵：适合于真空冶炼、真空脱气、真空蒸发、真空干燥、真空回潮等工业领域。
13、低温泵：适合于真空镀膜、表面物理、超导技术、宇航技术等领域中。
真空泵种类及油品使用
国际标准化组织对真空泵油的分类 iso6743 3a 1987 表3 2 常用真空泵的汉语拼音代号及名称。代号名称代号名称 w 往复真空泵z 油扩散喷射泵 油增压泵 d 定片真空泵s 升华泵 x 旋片真空泵lf 复合式离子泵 h 滑阀真空泵gl 锆铝吸气剂泵 zj 罗茨真空泵 机械增压泵 dz 制冷...